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  • ꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯤꯕꯜ ꯄ꯭ꯔꯤꯟꯇ ꯁꯔꯛꯌꯨꯏꯠꯁꯤꯡ (ꯑꯦꯐ.ꯄꯤ.ꯁꯤ.ꯁꯤꯡ)- ꯀꯟꯗꯨꯛꯇꯤꯕ ꯏꯉ꯭ꯛ ꯕꯣꯟꯗꯤꯡꯒꯤꯗꯃꯛ ꯄꯣꯂꯤꯏꯃꯥꯏꯗ (ꯄꯤ.ꯑꯥꯏ.) ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯄꯤ.ꯏ.ꯇꯤ.
  • ꯑꯣꯂꯦꯗ/ꯑꯦꯜ.ꯁꯤ.ꯗꯤ.ꯅꯥ - ꯄ꯭ꯔꯤ-ꯑꯂꯠꯔꯥ-ꯊꯤꯟ ꯒ꯭ꯂꯥꯁ (ꯌꯨ.ꯇꯤ.ꯑꯦꯐ.ꯖꯤ.) ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯥꯏ.ꯇꯤ.ꯑꯣ.
  • ꯊꯤꯟ-ꯐꯤꯜꯃ ꯕꯦꯠꯇꯔꯤꯁꯤꯡ - ꯂꯤ-ꯑꯥꯏꯑꯣꯟ ꯏꯂꯦꯛꯠꯔꯣꯗ ꯐꯣꯏꯂꯁꯤꯡꯒꯤ ꯁꯔꯐꯦꯁ ​​ꯐꯉ꯭ꯀꯁꯅꯦꯂꯥꯏꯖꯦꯁꯟ

 

ꯆꯤꯡꯅꯕ

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ꯗꯤꯁꯆꯥꯔꯖ-ꯁꯦꯟꯁꯤꯇꯤꯕ ꯃꯦꯇꯔꯤꯑꯦꯂꯁꯤꯡ

ꯄꯂꯁ ꯇꯧꯔꯕꯥ ꯗꯤ.ꯕꯤ.ꯗꯤ.<50°C prevents thermal damage

ꯅꯦꯅꯣꯁ꯭ꯀꯦꯜ ꯃꯣꯗꯤꯐꯤꯀꯦꯁꯟ ( ꯱.<10nm depth) only

ꯌꯨ.ꯇꯤ.ꯑꯦꯐ.ꯖꯤ.ꯗꯥ ꯑꯦꯗꯖꯦꯁꯟ ꯐꯦꯏꯜ ꯇꯧꯕꯥ

ꯗꯤ.ꯁꯤ.ꯑꯦꯁ.ꯕꯤ.ꯗꯤ.ꯒꯤ ꯄ꯭ꯂꯥꯖꯃꯥꯅꯥ ꯑꯣꯛꯁꯤꯖꯦꯅꯒꯤ ꯐꯉ꯭ꯀꯁꯅꯦꯂꯤꯇꯤꯁꯤꯡ ꯍꯥꯄꯆꯤꯟꯗꯨꯅꯥ ꯍꯥꯏꯗ꯭ꯔꯣꯀꯥꯔꯕꯣꯅꯁꯤꯡ ꯂꯧꯊꯣꯀꯏ

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ꯃꯆꯥꯛ-ꯑꯀꯛꯅꯕꯥ ꯄ꯭ꯔꯣꯇꯣꯀꯣꯂꯁꯤꯡ
  • ꯄꯣꯂꯤꯏꯃꯥꯏꯗ ꯐꯤꯜꯃꯁꯤꯡ (ꯀꯦꯄꯇꯟ®)

ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁ: ꯲꯰kHzꯗꯥ ꯂꯩꯕꯥ N₂/h₂ ꯄ꯭ꯂꯥꯖꯃꯥ, ꯷ꯀꯦ.ꯚꯤ.

ꯐꯜ: ꯶꯰% ꯍꯦꯟꯅꯥ ꯋꯥꯡꯕꯥ ꯏꯉ꯭ꯛ ꯑꯦꯗꯖꯦꯁꯟ ꯕꯔꯁꯦꯁ ꯀꯣꯔꯣꯅꯥ ꯂꯥꯌꯦꯡꯕꯥ

 

  • ꯑꯂꯠꯔꯥ-ꯊꯤꯟ ꯒ꯭ꯂꯥꯁ (UTFG)

ꯊꯧꯑꯣꯡ: ꯗꯤꯐ꯭ꯌꯨꯁꯟ ꯀꯣꯞꯂꯥꯅꯥꯔ ꯁꯔꯐꯦꯁ ​​ꯕꯦꯔꯤꯌꯥꯔ ꯗꯤꯁꯆꯥꯔꯖ (ꯗꯤ.ꯁꯤ.ꯑꯦꯁ.ꯕꯤ.ꯗꯤ.)

ꯔꯤꯖꯜꯇ: 40% ꯀꯟꯗꯨꯛꯇꯤꯚꯤꯇꯤ ꯍꯦꯅꯒꯠꯂꯀꯄꯥ ꯄꯦꯗꯣꯠ:ꯄꯤ.ꯑꯦꯁ.ꯑꯦꯁ.

 

  • li-ꯑꯥꯏꯑꯣꯟ ꯏꯂꯦꯛꯠꯔꯣꯗ ꯐꯣꯏꯂꯁꯤꯡ

ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁ: ꯍꯦ/ꯑꯣ ꯲ꯒꯥ ꯂꯣꯌꯅꯅꯥ ꯑꯦꯇꯃꯣꯁ꯭ꯐꯤꯌꯔ ꯄ꯭ꯂꯥꯖꯃꯥ

ꯔꯤꯖꯜꯇ: ꯂꯦꯃꯍꯧꯔꯤꯕꯥ ꯁꯦꯂꯁꯤꯡꯗꯥ ꯱꯵% ꯍꯦꯟꯅꯥ ꯋꯥꯡꯕꯥ ꯄꯤꯜ ꯁ꯭ꯠꯔꯦꯡꯊ

 

  • ꯏꯟꯖꯤꯅꯤꯌꯔ-ꯗꯤꯁꯆꯥꯔꯖ ꯇꯧꯕꯒꯤꯗꯃꯛ ꯁꯦꯝ ꯁꯥꯕꯥ ꯁꯣꯂꯨꯁꯅꯁꯤꯡ-ꯁꯦꯟꯁꯤꯇꯤꯕ ꯃꯦꯇꯔꯤꯑꯦꯂꯁꯤꯡ

ꯑꯩꯈꯣꯌꯒꯤ ꯁꯤꯁ꯭ꯇꯦꯃꯁꯤꯡꯅꯥ REAL-ꯇꯥꯏꯝ ꯏꯝꯄꯦꯟꯗꯦꯟꯁ ꯃꯣꯅꯤꯇꯔ ꯇꯧꯕꯥ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯦꯗꯥꯞꯇꯤꯕ ꯄꯥꯋꯔ ꯀꯟꯠꯔꯣꯜ ꯑꯁꯤ ꯃꯈꯥꯗꯥ ꯄꯤꯔꯤꯕꯁꯤꯡ ꯑꯁꯤ ꯊꯤꯡꯅꯕꯥ ꯏꯟꯇꯤꯒ꯭ꯔꯦꯠ ꯇꯧꯏ:

ꯇꯦꯝꯄꯦꯔꯦꯆꯔ-ꯁꯦꯟꯁꯤꯇꯤꯕ ꯕꯥꯏꯑꯣ-ꯄꯣꯂꯤꯃꯔꯁꯤꯡ (ꯈꯨꯗꯝ ꯑꯣꯏꯅꯥ, ꯄꯤ.ꯑꯦꯜ.ꯖꯤ.ꯑꯦ.ꯒꯤ ꯁ꯭ꯀꯦꯐꯣꯜꯗꯁꯤꯡ)

ꯃꯥꯏꯛꯔꯣ-ꯄꯦꯇꯔꯟ ꯇꯧꯔꯕꯥ ꯑꯥꯏ.ꯇꯤ.ꯑꯣ.

ꯄꯣꯔꯣꯁ ꯕꯦꯠꯇꯔꯤ ꯁꯦꯄꯥꯔꯦꯇꯔꯁꯤꯡ .

 

  • ꯑꯩꯈꯣꯌꯒꯤ ꯁꯔꯐꯦꯁ ​​ꯏꯟꯖꯤꯅꯤꯌꯔꯤꯡ ꯇꯤꯃꯒꯥ ꯄꯥꯎ ꯐꯥꯑꯣꯅꯕꯤꯌꯨ:

▶︎ ꯃꯦꯇꯔꯤꯑꯦꯜ ꯀꯝꯄꯦꯇꯤꯕꯤꯂꯤꯇꯤ ꯇꯦꯁ꯭ꯇꯤꯡ ꯔꯤꯄꯣꯔꯠ (WCA/SEM/XPS ꯗꯦꯇꯥ ꯌꯥꯑꯣꯅꯥ)

▶︎ ꯅꯍꯥꯛꯀꯤ ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠꯁꯤꯡꯒꯥ ꯂꯣꯌꯅꯅꯥ ꯚꯦꯂꯤꯗꯦꯁꯟ ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁ ꯇꯧꯕꯥ (ꯄꯤ.ꯑꯥꯏ./ꯁꯤ.ꯑꯣ.ꯄꯤ./ꯄꯦꯟ)

▶︎ on-ꯁꯥꯏꯠ ꯄꯦꯔꯥꯃꯤꯇꯔ ꯑꯣꯞꯇꯤꯃꯥꯏꯖꯦꯁꯟ ꯇꯧꯕꯥ ꯌꯥꯕꯥ ꯗꯤꯁꯆꯥꯔꯖ ꯑꯃꯥꯡ-ꯑꯇꯥ ꯊꯣꯀꯍꯟꯗꯅꯕꯥ